細管内壁コーティング用走査磁界型同軸ECRプラズマの特性

• 森崎 英一郎

• 長野 哲平

• 藤山 寛

Bibliographic Information

Other Title

• サイカン ナイヘキ コーティングヨウ ソウサ ジカイガタ ドウジク ECR プ

Journal

• 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials

  電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 117 (12), 1207-1212, 1997-11

  東京 : 電気学会

Details

• CRID: 1520290885277231872
• NII Article ID: 10002823240
• NII Book ID: AN10136312
• ISSN: 03854205
• NDL BIB ID: 4353386
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4353386
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles