GMR膜用Co/Cu多層膜のFIBによる微細加工

• 永井 浩史

  日大院

• 蜂谷 充弘

  日大院

• 新實 研二

  日大院

• 中川 活二

  日大理工・先端材料科学センター

• 伊藤 彰義

  日大理工・先端材料科学センター

書誌事項

タイトル別名

• Microfabrication of Co/Cu multilayer by focused ion beam

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 22 47-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1572824498917410432
• NII論文ID: 10002824013
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles