誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製 Praparation of AIN films for the gap layers prepared by magnetron sputtering enhanced with an inductively coupled rf plasma

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  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan  

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 22, 81, 1998-09-01 

参考文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002824107
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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