強磁性合金に対するCO-NH_3系反応性イオンエッチングにおけるエッチング形状と再付着の形態

書誌事項

タイトル別名
  • Etched Features and Redeposition in CO-NH_3 Reactive-Ion Etching for Ferromagnetic Alloys

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詳細情報

  • CRID
    1572824498917492736
  • NII論文ID
    10002824965
  • NII書誌ID
    AN10269644
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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