強磁性合金に対するCO-NH_3系反応性イオンエッチングにおけるエッチング形状と再付着の形態
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- 中谷 功
- 金材技研
書誌事項
- タイトル別名
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- Etched Features and Redeposition in CO-NH_3 Reactive-Ion Etching for Ferromagnetic Alloys
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収録刊行物
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- 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan
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日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 22 413-, 1998-09-01
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詳細情報
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- CRID
- 1572824498917492736
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- NII論文ID
- 10002824965
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- NII書誌ID
- AN10269644
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles