イオンビームスパッタ法における反跳Arの鉄薄膜特性に及ぼす影響 Effect of recoiled Ar on characteristics of Fe film deposited by ion beam sputtering

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  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 22, 418, 1998-09-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002824973
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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