パルスエアジェットによる各種表面からの微粒子の除去 -除去パラメータによる粒子除去率の予測- Removal of Fine Particles from Various Surfaces by Consecutive Pulse Air Jets -Prediction of Particle Removal Efficiency with Resuspension Parameter-

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著者

    • 大谷 吉生 OTANI Yoshio
    • 金沢大学工学部物質化学工学科 Department of Chemistry and Chemical Engineering, Kanazawa University
    • 江見 準 EMI Hitoshi
    • 金沢大学工学部物質化学工学科 Department of Chemistry and Chemical Engineering, Kanazawa University

抄録

表面に付着した粒子を乾式で除去する方法として, 高速気流を繰り返し噴射するパルスエアジェット法は1μm以下の微粒子の除去に極めて有効である.本報では, まず平滑表面に付着した球形粒子 (粒径0.5~5μm) の積算除去率を, 1パルス目に除去される粒子の割合γ<SUB>1</SUB>, 最終的に除去されない粒子の割合α<SUB>0</SUB>, そして1パルスあたりに除去される粒子の割合に関するパラメータ<I>C</I>'を用いて相関し, 各パラメータと粒子に働く除去力と付着力の比である除去パラメータ<I>F</I><SUP>*</SUP>の関係について検討した.その結果, 平滑表面からの粒子除去率は, γ<SUB>1</SUB>, α<SUB>0</SUB>, <I>C</I>'の3つのパラメータにより精度よく相関でき, また各パラメータは<I>F</I><SUP>*</SUP>のみの関数として与えられることがわかった.さらに, 規則的な凹凸を有するSUS表面からの粒子除去についても検討した結果, ある表面粗さに対して最も除去しにくい粒径が存在すること, および粗い表面からの粒子除去率も3つのパラメータによって相関できることがわかった.しかしながら, これらのパラメータと<I>F</I><SUP>*</SUP>の関係については, F<SUP>*</SUP>以外に表面粗さを示すパラメータを新たに導入する必要があることがわかった.

Consecutive pulse air jets are effective for the removal of fine particles from various surfaces. In the present work, the removal efficiencies of spherical particles from smooth flat surfaces are correlated by introducing three parameters (i. e., the fraction of particles removed by the first air jet blow, γ<SUB>1</SUB>, irremovable fraction of particles, α<SUB>0</SUB>, and the parameter related to the fraction of particles removed by each air jet blow, <I>C</I>'), and the dependencies of these parameters on <I>F</I><SUP>*</SUP> (the ratio of drag force acting on a particle to van der Waals adhesion force) are investigated. As a result, the removal efficiencies from smooth flat surfaces are successfully correlated by these parameters, and all of the parameters are well expressed as a single value function of <I>F</I><SUP>*</SUP>. By applying these correlation equations to rough surfaces, it is found that another parameter to express the roughness of surface is necessary in predicting three parameters as a function of <I>F</I><SUP>*</SUP>, although the removal efficiencies from rough surfaces are well correlated by the three parameters. Further, it is found that there is a particle size with a minimum removal efficiency for a given roughness of surface.

収録刊行物

  • 化学工学論文集  

    化学工学論文集 24(1), 86-92, 1998-01-10 

    The Society of Chemical Engineers, Japan

参考文献:  5件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002834976
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037234
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0386216X
  • NDL 記事登録ID
    4380949
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-725
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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