ニッケル/鉄合金のウェットエッチング速度 Wet Etching Rate of Nickel/Iron Alloy

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著者

    • 幡手 泰雄 HATATE Yasuo
    • 鹿児島大学工学部応用化学工学科 Department of Applied Chemistry and Chemical Engineering, Kagoshima University
    • 古川 雄士 FURUKAWA Yuji
    • 鹿児島大学工学部応用化学工学科 Department of Applied Chemistry and Chemical Engineering, Kagoshima University
    • 小野 輝生 [他] ONO Teruo
    • 鹿児島大学工学部応用化学工学科 Department of Applied Chemistry and Chemical Engineering, Kagoshima University

抄録

ニッケルを42wt%含むニッケル/鉄合金の塩化鉄 (III) 水溶液によるエッチング速度を各種条件下で測定した.エッチング速度に及ぼす液撹拌速度, エッチング液濃度, 温度, 共存異種金属イオン及びレジスト穴直径の影響を検討した.見かけのエッチング速度は一般的に見られる山型の濃度依存性を示した.速度の活性化エネルギーは, 低濃度側で12kJ/mol, 高濃度側で24~30kJ/molであった.エッチング液への各種イオンの添加はエッチング速度の大きな低下を引き起こした.レジスト穴直径が小さくなるにつれてサイドエッチの効果のためエッチング速度が大きくなった.

The etch rate of 42 Alloy in iron (III) chloride etchant is measured in order to investigate the effects of agitation speed, etchant concentration, temperature, co-existing foreign metal ions and resist hole diameter. The rate increased at first and gradually decreased in accordance with increasing etchant concentration. The activation energies are 12 and 24-30 kJ/mol at a low concentration and at a higher concentration, respectively. Foreign metal ions in etchants significantly suppressed the etch rate. The etch rate increased with decreasing diameter of the resist hole due to the effect of side etch.

収録刊行物

  • 化学工学論文集  

    化学工学論文集 24(1), 152-154, 1998-01-10 

    The Society of Chemical Engineers, Japan

参考文献:  2件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002835093
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037234
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    0386216X
  • NDL 記事登録ID
    4380962
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-725
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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