マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作

• 西澤 充智

  東北大学大学院工学研究科

• 新妻 弘明

  東北大学大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Development of Micro Capacitive Accelerometer for Subsurface Microseismic Measurement

収録刊行物

• 物理探査学会学術講演会講演論文集 = Proceeding of the SEGJ Conference

  物理探査学会学術講演会講演論文集 = Proceeding of the SEGJ Conference 96 35-38, 1997-05

詳細情報

• CRID: 1572543023940958848
• NII論文ID: 10002838403
• NII書誌ID: AN10532932
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles