リアルタイム位相シフト干渉法による結晶成長過程のその場制御

• 小沼 一雄

  物質工学工業技術研究所

• 桑島 茂純

  応用計測研究所

• 中村 亨

  応用計測研究所

書誌事項

タイトル別名

• In situ control of crystal growth process by real time phase shift interferometry

収録刊行物

• JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application

  JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application 12 (4), 249-, 1995-10-31

詳細情報

• CRID: 1571980073997750656
• NII論文ID: 10002844621
• NII書誌ID: AN10537663
• ISSN: 09153616
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • CiNii Articles