微小重力における水平型コールドウォール熱CVD装置の熱流動 Gas flow and heat transfer in a horizontal cold-wall CVD reactor under micro-gravity

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著者

収録刊行物

  • JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application

    JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application 12(4), 252-253, 1995-10-31

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002844624
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10537663
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09153616
  • データ提供元
    CJP書誌 
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