微小重力下における水平型コールドウォール熱CVD装置の熱流動 - 落下塔実験 - Gas flow and heat transfer in a horizontal cold-wall CVD reactor under micro-gravity - Drop shaft experiments -

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著者

収録刊行物

  • JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application  

    JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application 13(4), 325-326, 1996-10-31 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002844938
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10537663
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09153616
  • データ提供元
    CJP書誌 
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