微小重力環境におけるCVD(化学気相成長法)反応炉内の気体の流動解析 Direct Observation and theoretical analysis of Carrier Gas }Flow in CVD (Chemical Vapor Diposition) Furnace under Microgravity

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  • JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application

    JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application 16(1), 2-13, 1999-01-31

    日本マイクログラビティ応用学会

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

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    田上健一郎

    水平コールドウォール型CVD装置内の熱流動に関する研究, 1997

    被引用文献2件

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    越智誠司

    日本マイクログラビティー応用学会誌 14, 239, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    BROCK J. R.

    17, 1962

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIMADA M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 1174, 1994

    被引用文献3件

  • <no title>

    FOTIADIS D. I.

    J. Cryst. Growth 102, 743, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    TALBOT L.

    J. Fluid Mech. 101, 737, 1980

    被引用文献2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002845673
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10537663
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09153616
  • NDL 記事登録ID
    4644959
  • NDL 雑誌分類
    ZM33(科学技術--宇宙科学) // ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-621
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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