無重力下におけるプラズマ診断と材料プロセスへの応用 A Diagnostic Study of Plasma CVD under Microgravity and its Application to Diamond Deposition

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  • JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application

    JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application 16(1), 45-52, 1999-01-31

    日本マイクログラビティ応用学会

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

  • <no title>

    CELLE F. G.

    in Science and Technology of New Diamond 17, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    DERJAGUIN B. V.

    Sov. Phys. 52, 676, 1976

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUMOTO S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 42, L183, 1982

    被引用文献2件

  • <no title>

    OTA N.

    Sumitomodenki 137, 206, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUZUKI K.

    Jpn. J. Appl. Phys. 29(1), 153, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOURIN R. H.

    Spectroscopic gas temperature, 1966

    被引用文献2件

  • <no title>

    宇宙開発事業団

    気相成長基礎実験装置(GDEF)実験成果報告書, 1998

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002845714
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10537663
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09153616
  • NDL 記事登録ID
    4645251
  • NDL 雑誌分類
    ZM33(科学技術--宇宙科学) // ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-621
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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