クリーンルームにおける粒子汚染と化学汚染 Particle Contamination and Chemical Contamination in Cleanroom

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収録刊行物

  • エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

    エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 15, 104-106, 1998-08

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

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    SEMATEC#95052812A-TR

    被引用文献1件

  • <no title>

    斉木篤

    第43回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 27p-F-10 p702, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    鈴木道夫

    第2回空気清浄技術研究大会予稿集, 17-20, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    竹田菊男

    第15回空気清浄技術研究大会予稿集, 5-8, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    嶋崎綾子

    サイエンスフォーラムセミナー「半導体製造ラインにおける次世代制御技術と除外設備対策」, 2.2.1-2.2.9

    被引用文献1件

  • ギガビットLSIプロセス環境における必要清浄度の予測

    斉木 篤

    電子情報通信学会論文誌 C-(0xF9C2) エレクトロニクス (0xF9C2)-電子素子・応用 73(5), p343-347, 1990-05

    被引用文献3件

  • 塵埃汚染と化学汚染

    斉木 篤

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 11(1), 22-25, 1996-03-20

    DOI 参考文献12件 被引用文献3件

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    清田省吾

    クリーンテクノロジー 4, 35-40, 1994

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002846139
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11498601
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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