クリーンルーム空間におけるガス-粒子相互作用とその応用 Interaction between Gas and Particle and Its Application in Cleanroom Environments

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  • エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

    エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 15, 107-112, 1998-08

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

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    I300I & J300

    Global Joint Guidance for 300 mm Semiconductor Factories 33, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    I300I

    I300I Factory Guideline : Version 2.0 44, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    KARASEK F. W.

    Anal. Chem. 46, 710A, 1974

    被引用文献1件

  • <no title>

    WINKIMAYR W.

    J. Aerosol Sci. 22, 289, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKUYAMA K.

    J. Aerosol Research Jpn. 13, 83, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    ADACHI M.

    J. Aerosol Research Jpn. 9, 321, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    KIM T. O.

    Aerosol Sci. Technol. 26, 827, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOHNO H.

    J. Aerosol Research Jpn. 11, 220, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOHNO H.

    J. Aerosol Research Jpn. 11, 349, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUJII T.

    J. Aerosol Research Jpn. 8, 239, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAKAMOTO K.

    Proc. 14th ATM of JACA, Tokyo 114, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAKATA S.

    J. Aerosol Research Jpn. 6, 365, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKANO K.

    J. Aerosol Research Jpn. 8, 365, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAKATA S.

    J. JACA 32, 218, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAKATA S.

    Proc. Institute of Electrostatics Jpn. 21, 46, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAMIKI N.

    J. Archit. Plann, Environ. Engng., AIJ 456, 35, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAMIKI N.

    J. IES 34, 26, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    SEMATECH

    Forcat of Airborne Molecular Contamination Limits for the 0.25 Micron High Performance Logic Process 30, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    IWAMOTO T.

    Proc. IEEE Tech. Dig. IEDM 751, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOBIMATSU H.

    Proc. 15th ATM of JACA, Tokyo 301, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAMIKI N.

    Clean Technology 4, 67, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002846148
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11498601
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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