The Double-cylinder Chamber for Emissions of VOC from Cleanroom Materials

• TANAKA Takaori

  Tokyo Institute of Technology

• FUJII Shuji

  Tokyo Institute of Technology

• YUASA Kazuhiro

  Tokyo Institute of Technology

• KAGI Naoki

  Tokyo Institute of Technology

• TAMURA Hajime

  Techno Ryowa Ltd.

Bibliographic Information

Other Title

• 二重管式チャンバーを用いたクリーンルーム構成材から発生するVOCの評価

Journal

• エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

  エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 15 147-149, 1998-08

Details

• CRID: 1573105973904645376
• NII Article ID: 10002846215
• NII Book ID: AA11498601
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles