真空ピンチャックによる平面矯正(第2報) -ピン支持研磨によるディンプルの発生-

• 松井 伸介

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 大平 文和

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 小藪 国夫

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 石川 良征

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 清水 彰

  NTTシステムエレクトロニクス研究所

• 宇根 篤暢

  NTTシステムエレクトロニクス研究所

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 187-188, 1997-03-01

詳細情報

• CRID: 1570009749165224704
• NII論文ID: 10002868505
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles