高密度プラズマを用いたダイヤモンド状(DLC)薄膜の低温形成に関する研究(第4法) -DLC薄膜の構造及び特性の評価-

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著者

    • 平野 均
    • 三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集  

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(1), 329-330, 1997-03-01 

参考文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002868740
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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