ポリイミド表面のプラズマ処理における電気伝導層形成 Study Of Electrical Conductive Layer On Polyimide Surface After Plasma Treatment

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(1), 427-428, 1997-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    清水正男

    日経マイクロデバイス 83, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    KATNANI A. D.

    J. Adhesion Sci. Technol. 3, 441-453, 1989

    被引用文献2件

  • <no title>

    FLITSCH R.

    J.Vac.Sci.Technol A8, 2376, 1990

    DOI 被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002868899
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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