走査電子顕微鏡用ナノインデンテーション装置の開発 -(第一報)大気中動作プロトタイプの試作-

• 清野 豊

  計量研究所

• 秦 勝一郎

  計量研究所

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 429-430, 1997-03-01

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• CRID: 1570854174095474176
• NII Article ID: 10002868903
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles