超微小硬度計による蒸着膜の硬度評価(第1報) -ガラス基板上での薄膜硬度の挙動について-

• 菊田 幸明

  東海ゴム工業株式会社

• 勇田 敏夫

  北海道大学工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 433-434, 1997-03-01

詳細情報

• CRID: 1574231873815998720
• NII論文ID: 10002868905
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles