大口径ウェーハ(12インチ)超精密研削盤の開発

• 小林 一雄

書誌事項

タイトル別名

• ダイコウケイ ウェーハ 12インチ チョウ セイミツ ケンサクバン ノ カイハ
• 特集 先端砥粒加工:研削
• トクシュウ センタン トリュウ カコウ ケンサク

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 41 (3), 82-85, 1997-03

  東京 : 砥粒加工学会

詳細情報

• CRID: 1520572360247124736
• NII論文ID: 10002869318
• NII論文ID: 10011184895
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 4149993
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4149993
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles