He高圧力・高周波プラズマの特性 -電極材質による相違-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(1), 703-704, 1997-03-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    BOEUF J. -P.

    Phys.Rev.A 36, 2782, 1987

    DOI 被引用文献7件

  • <no title>

    MAKABE T.

    Phys. Rev. A. 45(4), 2520

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002869375
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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