He高圧力・高周波プラズマの特性 -電極材質による相違-

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 片岡 俊彦

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 押鐘 寧

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 大山 貴裕

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 川島 雅人

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 玉田 浩平

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 703-704, 1997-03-01

Details

• CRID: 1570854174095494400
• NII Article ID: 10002869375
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles