分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第1報) -Si基板上へのSiC成長-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(1), 763-764, 1997-03-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    MIYAZAKI T.

    Appl. Phys. Lett. 45, 4, 380, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAGASAWA H.

    Appl.Surf.Sci. 82/83, 405, 1994

    DOI 被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002869496
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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