基準を必要としない形状測定法の研究 -フィゾー干渉計による平面形体の円周上での測定実験-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(1), 781-782, 1997-03-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    園嵜

    機論C 60, 576, 2560, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    園嵜

    精密工学会誌 61, 12, 1700, 1995

    被引用文献3件

  • <no title>

    園嵜

    精密工学会誌 63, 1, 129, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    武田光夫

    応用物理 62, 579, 1993

    被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002869527
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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