基準を必要としない形状測定法の研究 -フィゾー干渉計による平面形体の円周上での測定実験-

• 園崎 昭八

  高松高専

• 岩田 耕一

  大阪府立大学

• 岩橋 善久

  大阪産業大学短期大学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 781-782, 1997-03-01

Details

• CRID: 1571698599025583488
• NII Article ID: 10002869527
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles