FREE RESIN SURFACE CONTROL BY AIR PRESSURE FOR PHOTOFORMING MICRO STRUCTURE

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(1), 1111-1112, 1997-03-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    TAKAGI T.

    IEEE, Proc. of MEMS 173, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    IKUTA K.

    IEEE, Proc. of MEMS 42, 1991

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002870105
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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