超精密空気静圧案内面の能動制御による案内精度の改善

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(2), 4, 1997-10-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

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    水本洋

    能動自成絞り付き高剛性空気静圧軸受の開発, 精密工学会誌 60, 9, 1325, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002870434
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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