超精密空気静圧案内面の能動制御による案内精度の改善

• 水本 洋

  鳥取大学

• 高石 浩之

  鳥取大学

• 有井 士郎

  鳥取大学

• 高田 芳治

  ヤマザキマザック

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 4-, 1997-10-01

Details

• CRID: 1573105973890347264
• NII Article ID: 10002870434
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles