変位補償型高剛性静圧気体スラスト軸受に関する研究(軸受の提案と実験的検討)

• 境 久嘉

  (株)ミツトヨ

• 武富 尚之

  (株)ミツトヨ

• 吉本 成香

  東京理科大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 5-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1571417124030080640
• NII論文ID: 10002870436
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles