単結晶シリコンの微小切削機構

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(2), 89, 1997-10-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    島田

    1996年度精密工学会関西地方講演会論文集 5, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOOVER W. G.

    Thrust Area Report FY90, LLNL, 4-1, 1990

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002870644
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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