Si(111)基板上AlN単結晶薄膜のドーピングに関する研究

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(2), 112, 1997-10-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    MIYAUCHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, L1714, 1992

    被引用文献3件

  • <no title>

    竹内昭博

    精密工学会1995年度関西地方定期学術講演会講演論文集 69

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002870704
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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