金属窒化物セラミックスの薄膜成長過程の第一原理シミュレーション

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(2), 113, 1997-10-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

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    木山精一

    1989年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 1077, 1989

    被引用文献1件

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    木山精一

    精密工学会誌 60, 7, 1029, 1994

    被引用文献1件

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    木山精一

    1989年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 17, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    広瀬

    精密工学会誌 60-3, 402, 1994

    被引用文献6件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002870707
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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