プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工

• 柴原 正文

  兵庫県立工業技術センター

• 西岡 敏明

  兵庫県立工業技術センター

• 沖田 耕三

  兵庫県立工業技術センター

• 森 勇蔵

  大阪大学

• 山村 和也

  大阪大学

• 佐野 泰久

  大阪大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 189-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1570009749146566912
• NII論文ID: 10002870898
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles