回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第5報) -高速形成a-Si薄膜の特性-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(2), 192, 1997-10-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

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    森勇藏

    1996年度精密工学会春季大会学術講演会論文集 359

    被引用文献1件

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    森勇藏

    1997年度精密工学会秋季大会学術講演会

    被引用文献1件

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    HISHIKAWA Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1008, 1991

    被引用文献16件

  • <no title>

    HISHIKAWA Y.

    J.Appl.Phys. 73, 4227, 1993

    DOI 被引用文献18件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002870908
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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