Smart Nano-Machining Systemの開発 -ダイヤモンド探針の作成と評価-

• 海野 和也

  北海道大学

• 北本 泰貴

  北海道大学

• 柴田 隆行

  北海道大学

• 牧野 英司

  北海道大学

• 池田 正幸

  北海道大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 274-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1570009749146612224
• NII論文ID: 10002871127
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles