圧電素子の急速変形と揺動作用を利用した位置決め機構

• 樋口 静一

  千葉大

• 山田 二郎

  鈴茂器工

• 戸塚 貴之

  千葉大

• 田島 法彦

  千葉大

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 350-, 1997-10-01

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• CRID: 1571135649053366016
• NII Article ID: 10002871325
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles