真空ポンプ機能を持つレーザスキャナ用動圧型スラスト気体軸受(静特性)

• 河村 徳久

  東理大

• 吉本 成香

  東理大

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 379-, 1997-10-01

Details

• CRID: 1573105973890339200
• NII Article ID: 10002871390
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles