光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究-位相回復シミュレーション-

• 和氣 一公

  大阪大学大学院工学研究科

• 三好 隆志

  大阪大学大学院工学研究科

• 高谷 裕浩

  大阪大学大学院工学研究科

• 高橋 哲

  大阪大学大学院工学研究科

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 452-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1571135649053318016
• NII論文ID: 10002871589
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles