位相シフトモアレ法によるLCDガラス基板平坦度計測法(第2報)

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997(2), 463, 1997-10-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    富沢

    精密工学会誌 58, 11, 1831, 1992

    被引用文献3件

  • <no title>

    FUJIWARA H.

    Proc. SPIEVol 2862, 172, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    大谷

    精密工学会秋季大会予稿集 271, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    OTSUBO M.

    Opt. Eng. 33, 608, 1994

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002871613
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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