三次元マイクロメカニズムの入出力変位・力特性

• 堀江 三喜男

  東京工業大学

• 神谷 大揮

  東京工業大学

• 葉山 卓児

  東京工業大学

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 467-, 1997-10-01

Details

• CRID: 1573950398820658176
• NII Article ID: 10002871625
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles