二次元超音波モータを用いた回転リニアモータの高精度位置決めの研究

• 木の内 雅人

  芝工大

• 岩附 信行

  東工大

• 柴田 順二

  芝工大

• 林 巌

  東工大

• 森川 広一

  東工大

• 鈴木 浩二

  ミツトヨ

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 595-, 1997-10-01

Details

• CRID: 1571417124030041728
• NII Article ID: 10002872029
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles