熱変形に基づく真空チャックの平面度変化 (第3報 ボルトのスラストの影響・接触面摩擦係数の測定)

• 山田 和孝

  新潟大学・院

• 横山 和宏

  新潟大学・自然科学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 114-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1572543023937144448
• NII論文ID: 10002872473
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles