ガラス磁気ディスク基板の超平滑ポリシングに関する研究(第3報) -砥粒濃度および砥粒粒径の影響-

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詳細情報

  • CRID
    1572261548960479232
  • NII論文ID
    10002872734
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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