高周波マグネトロンスパッタ法による極微粒ダイヤモンド砥粒の表面改質 -スパッタ条件と膜質-

• 藤山 博一

  福岡工大

• 仙波 卓弥

  福岡工大

• 佐藤 眞

  (株)牧野フライス製作所

• 竹内 恵三

  ノリタケダイヤ(株)

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 284-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1571135649053338368
• NII論文ID: 10002872936
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles