高周波マグネトロンスパッタ法による極微粒ダイヤモンド砥粒の表面改質 -スパッタ条件と膜質-

• 藤山 博一

  福岡工大

• 仙波 卓弥

  福岡工大

• 佐藤 眞

  (株)牧野フライス製作所

• 竹内 恵三

  ノリタケダイヤ(株)

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 284-, 1998-03-05

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• CRID: 1571135649053338368
• NII Article ID: 10002872936
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles