表面おうとつ形状のマルチスケール測定(第1報) -平面形体上のおうとつ測定-

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著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(1), 289, 1998-03-05

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

  • 超精密形状計測

    笹島 和幸

    計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers 41(11), 807-810, 2002-11-10

    J-STAGE DOI 参考文献12件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002872945
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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