振動援用スクライビングの条件 (超音波振動付与の効果)

• 宍戸 善明

  日本工大

• 林 雅夫

  日本工大

• 鈴木 清

  日本工大

• 三代 祥二

  日本工大

• 今城 慎一

  スタンレー電気

• 植松 哲太郎

  富山県立大

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 378-, 1998-03-05

Keywords

• Ultrasonic vibration
• Scribing
• Glass
• Longitudinal mode
• Bending mode

Details

• CRID: 1573950398820369536
• NII Article ID: 10002873189
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles