φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第2報 超大口径ウェーハ用研削装置の構成-

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所

• 一 啓文

  スーパーシリコン研究所

• 大川 真司

  スーパーシリコン研究所

• 石川 俊文

  スーパーシリコン研究所

• 荒井 一尚

  株式会社ディスコ

• 狛 豊

  株式会社ディスコ

• 北野 元己

  株式会社ディスコ

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 472-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1571135649053403008
• NII論文ID: 10002873442
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles